材料学院举办“同心·筑梦”统战主题活动 ——院士大讲堂

4月13日下午，在深圳大学党委组织统战部的大力支持下，材料学院于B2-536会议室举办“同心·筑梦”统战主题活动——院士大讲堂，中国科学院院士、材料学院院长彭孝军以“先进节点光刻材料的思考”为主题作了专题讲座。九三学社深圳市委员会主委蒋宇扬、副主委沈凌云，社市委各专门（工作）委员会主任、副主任、委员等，材料学院王雷、李凯、轷喆等九三学社社员教师代表共约30人参加活动。

彭孝军指出，深圳化工行业后端发达，但是前端薄弱，缺少材料化工的相关企业与研究。而对于芯片来说，光刻胶的光刻特征越小，芯片的集成度越高，芯片就越先进。国内光刻材料面临的问题主要包括：缺少曝光装置，缺少光刻胶，缺少反应机制的理解。特别是对于光刻胶来说，由于BEUV光子吸收比较难，材料的灵敏度比较低，传统的聚合物光刻胶对该波段的光吸收弱，抗腐蚀能力差，且容易发生质子扩散，难以形成高分辨的光刻图案，因此亟待发展新材料。彭孝军认为，现在研究的思路有两个：一是利用多氟原子对高能光子的吸收，在聚合物上修饰氟原子以增强光子的吸收；另一个思路是利用金属氧化物，不仅提高了对光子的吸收，还具有高耐蚀性。

院士大讲堂后，九三学社深圳市委员会各专门（工作）委员会分别汇报了本年度选题情况和调研计划，参加活动的市政协委员开展了点评研讨。会上指出，民主党派的课题调研要围绕党委、政府中心工作，聚焦新质生产力，用“望远镜”而不是“显微镜”，着力提高参政议政水平。

撰稿：郭宇杰、周茜　审核：林玉冰、赵杨、吕茜  
（更新于2024/4/21 22:29:00）